半导体材料产业

Semiconductor Materials Business

为了应对工程的细微化, 供应着可提供最佳解决方案的产品。

Soulbrain稳定供应着蚀刻液和洗涤液、CMP Slurry、Precursor等半导体核心工程所需的各种化学材料,持续不断成长中。以世界最强的半导体公司为对象,提供最高纯度的化学材料,在韩国和中国具备了生产基础,将经营范围扩大至全球。还有,为了效果性的应对超细微工程、转换至3D构造等半导体工程技术的急剧变化,积极促进全新材料的开发。

半导体材料产业
CVD/ALD materials

自从将SiO₂薄膜蒸镀用化学物TEOS以韩国最初进行国产化,不断生产着高诱电率(High-k)物质、扩散防止膜用Precursor等各种超高纯度的CVD/ALD Precursor等。还有,应对着半导体工程的细微化,持续开发及支援全新的High-k物质、配线材料、扩散防止膜材料、Low-k材料、Gap-fill材料等。

主要产品
  • TEOS (Tetraethylorthosilicate)
  • TEB (Triethyl Borate)
  • TEPO (Triethyl Phosphate)
  • TMOP (Trimethyl Phosphate)
  • POCL3 (Phosphorus Oxychloride)
  • TiCL4 (Titanium Tetrachloride)
  • HfO2/ZrO2 Precursors
产品事例
  • LCD/OLED TV

  • Notebook PC

  • Smart Pad

  • Mobile Phone

产品及各业务负责人

半导体材料产业
Etch & Cleaning

为了应对逐渐变为高聚集化、超薄膜化的半导体工程,要求着Multi Functional Cleaning及High Functional Etch性能。Soulbrain作为Low-and-high E/R Chemical和High Selectivity Chemical领域的领先者,开发及供应着具有各种功能的蚀刻液和洗涤液。

主要产品
  • Etchant & Cleaning: HSN/ H3PO4, Poly/PAN etchant, S-2, HNPA-1317, FMA-2P, HCL
  • Stripper: JQS-8920, TSO-500H, TSO-800H
产品事例
  • LCD/OLED TV

  • Notebook PC

  • Smart Pad

  • Mobile Phone

产品及各业务负责人

半导体材料产业
HF/BOE

用于半导体氧化膜蚀刻和洗涤的HF(Hydrofluoric Acid)/ BOE(Buffered Oxide Etchant)是半导体级超高纯度产品。Soulbrain以HF/BOE原材料内在化为基础,强化市场竞争力的同时,通过不断开发新技术,以适应半导体工艺的变化。

主要产品
  • HF(Hydrofluoric Acid)
  • BOE(LAL series)
产品事例
  • LCD/OLED TV

  • Notebook PC

  • Smart Pad

  • Mobile Phone

产品及各业务负责人

半导体材料产业
CMP Slurry

根据半导体产品的高聚集化,为了膜质的平坦度而导入的材料,用于为了形成高聚集半导体配线的绝缘膜、金属膜的平坦化。生产着用于ILD/IMD、STI/SOD、W、Cu等的CMP工程的Silica和Ceria Slurry产品,持续开发具有优秀的平坦化特性及划伤发生率较低的新产品,致力于提高良品率。

主要产品
  • ILD/IMD CMP Slurry
  • STI/SOD CMP Slurry
  • W CMP Slurry
  • Cu CMP Slurry
  • New Functional CMP Slurry
产品事例
  • LCD/OLED TV

  • Notebook PC

  • Smart Pad

  • Mobile Phone

产品及各业务负责人

半导体材料产业
Cu metalizing

铜具有比铝更低的非电阻值和更高的电子转移特性,广泛用于半导体用配线材料,但因很难蒸镀于CVD/ALD,为了形成配线,需要在Wafer对铜进行电镀的工程。Soulbrain供应此工程适用的铜镀液,持续进行对下一代半导体所要求的高性能镀层液和添加剂的开发。

主要产品
  • TCE-C(镀层液)
产品事例
  • LCD/OLED TV

  • Notebook PC

  • Semiconductor

产品及各业务负责人