반도체 및 LCD 폐에칭액으로부터 유효물질 회수 공정기술 상업화 진입

한국화학연구원(원장 김충섭)과 테크노세미켐(주)(대표이사 정지완)은 2004년 8월 13일(금) 오전 11시 충남 공주 소재 테크노세미켐(주) 공주 공장에서 ‘반도체 및 LCD 폐에칭액으로부터 초고순도 인산, 질산, 초산의 회수 공정기술’의 기술 실시 계약을 체결하였다.

이날 본 계약은 테크노세미켐(주)이 한국화학연구원이 보유하고 있는 「반도체 폐에칭액으로부터 초고순도 인산의 분리, 회수 방법」과 「TFT - LCD 혼합산 폐에칭액으로부터 초고순도 인산, 질산 및 초산을 초고순도로 분리, 회수하는 방법」2건의 특허기술에 대하여 국내외 전용실시권을 취득하고, 이의 공정기술을 상업화하는 내용으로 체결되었다.

한국화학연구원 미세공정기술연구센터(센터장 김광주 박사) 결정화 공정연구실의 김광주 박사팀은 지난 6월 경막 용융 결정화기술을 이용하여 반도체 및 LCD 혼합산 폐에칭액으로부터 고순도 무기산을 회수하여 재활용할 수 있는 기술을 세계 최초로 개발하였다고 발표한 바 있다. 반도체 및 LCD 폐에칭액으로부터 혼합산의 회수와 재활용 기술은 중화제, 용매, 촉매와 같은 첨가 물질을 사용하지 않고 폐액상태에서 무기산을 결정으로 생성시켜 분리, 정제하는 기술로서 무용매, 무오염, 저에너지형의 친환경 청정회수 공정 기술이다.

테크노세미켐(주)은 금번 기술 실시 계약 체결을 통하여 반도체 및 LCD 제조 공정에서 발생되는 인산계 혼합산 폐에칭액으로부터 회수율 90% 이상으로 초고순도 인산, 질산, 초산의 회수 및 재활용이 가능하게 됨으로써 산업폐기물 처리비용 절감 효과는 물론이고 재활용을 통한 원가절감과 연간 최소 300억원 이상의 신규 매출이 기대되고 있다.